机译:辉光放电沉积设备的改进,适用于在衬底上沉积半导体材料的设备的改进。在衬底的整个表面上均匀沉积半导体层的工艺,以及高速沉积非晶态半导体材料的工艺沉积设备
公开/公告号BR8307045A
专利类型
公开/公告日1984-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC.;
申请/专利号BR19838307045
发明设计人 PREM NATH;MASATSUGU IZU;
申请日1983-12-21
分类号H01L45/00;H01L31/18;
国家 BR
入库时间 2022-08-22 09:22:56