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Silicon ribbon growth wheel and method for heat flow control therein

机译:硅带生长轮及其中的热流控制方法

摘要

A silicon ribbon growth wheel having a thermal resistance zone between an outer silicon contacting surface and an inner cooling fluid contacting surface to control rate of heat flow from the outer to inner surfaces. In a preferred form the thermal resistance zone is defined by a row of holes through the wheel near the outer surface with said holes isolated from the cooling fluid. A method for controlling the heat flow is also diclosed.
机译:一种硅带生长轮,该硅带生长轮在外部硅接触表面和内部冷却流体接触表面之间具有热阻区,以控制从外表面到内表面的热流速率。在优选形式中,热阻区域由穿过轮的外表面附近的一排孔限定,所述孔与冷却流体隔离。还公开了一种控制热流的方法。

著录项

  • 公开/公告号US4468281A

    专利类型

  • 公开/公告日1984-08-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ATLANTIC RICHFIELD COMPANY;

    申请/专利号US19820453843

  • 发明设计人 SAMUEL N. REA;DAVID L. BENDER;

    申请日1982-12-27

  • 分类号C30B19/02;C30B29/06;C30B35/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 08:37:44

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