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Device for the examination of crystal surfaces according to the LEED-technique

机译:根据LEED技术检查晶体表面的设备

摘要

the invention relates to a ablenksystem (1) for a beam of charged particles, one at any point in the ablenksystem entering particle beam such umlenkt,the inlet opening of that in the ablenksystem (1)
机译:本发明涉及一种用于带电粒子束的能力系统(1),在能力系统中的任何点上的一个进入到诸如这样的子束的粒子束,其在能力系统(1)中的入口

著录项

  • 公开/公告号EP0152502A1

    专利类型

  • 公开/公告日1985-08-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT;

    申请/专利号EP19840101691

  • 发明设计人 HENZLER MARTIN PROF. DR.;

    申请日1984-02-18

  • 分类号H01J37/147;H01J37/295;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 08:01:44

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