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METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING A reactively sputtered conductive transparent metal oxide film onto a continuous JOB.

机译:用于将反应性溅射的导电透明金属氧化物膜生产到连续的作业上的方法和系统。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号NL8401721A

    专利类型

  • 公开/公告日1985-12-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利号NL19840001721

  • 发明设计人

    申请日1984-05-29

  • 分类号C23C14/34;C03C17/245;G01N27/04;

  • 国家 NL

  • 入库时间 2022-08-22 07:41:05

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