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METHOD OF MEASURING GEOMETRIC PARAMETERS OF SURFACE IN WHITE LIGHT INTERFERENCE PROFILE PATTERN RECORDER

机译:白光干涉轮廓图记录仪中表面几何参数的测量方法

摘要

the invention относитс  to measuring technical ke and may be used дл  измерени  профил  and roughness of the surface, and the thickness of дл  определени  tonk their films.the purpose of изобретени  -
机译:本发明涉及测量技术,可用于测量表面的轮廓和粗糙度,以及用于测量一定厚度的薄膜的厚度。

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