公开/公告号DD254272A1
专利类型
公开/公告日1988-02-17
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申请/专利权人 UNIV BERLIN HUMBOLDT DD;
申请/专利号DD19850280188
发明设计人 LANG KLAUS-DIETER DD;SCHEEL WOLFGANG DD;GALUSCHKI KLAUS-PETER DD;FREUND THOMAS DD;SCHMIDT GUNTER DD;HAMMERSCHMIDT REINER DD;
申请日1985-08-30
分类号H01L21/60;H01L21/66;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 07:00:53