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METHOD OF CHECKING GAS-PHASE CHEMICAL REACTIONS ON SEMICONDUCTORS

机译：在半导体上检测气相化学反应的方法

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摘要

the invention относитс to physical methods of исследовани chemical reactions and can be used in devices контрол chemical processes in the gas phase e and at the border section of the gas полупровод

机译：本发明针对化学反应的物理方法，可用于气相e和气体полупровод边界化学过程中的контрол装置

著录项

公开/公告号SU1357728A1

专利类型
公开/公告日1987-12-07

原文格式PDF
申请/专利权人 ZHDANOVSKIJ METALL INSTITUT;
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申请/专利号SU19864018488
发明设计人 KABANSKIJ ALEKSANDR ESU;
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申请日1986-02-04
分类号G01J1/48;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 06:54:06

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