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机译:等离子体诊断的核物理方法
公开/公告号SU1424144A1
专利类型
公开/公告日1988-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 NII YADERNOJ FIZ PRI TOMSKOM POLT I IM.S.M.KIROVA;
申请/专利号SU19864136716
发明设计人 BELYANIN OLEG PSU;SHADRIN VLADIMIR NSU;
申请日1986-10-21
分类号H05H1/00;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 06:53:20
机译: 平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译: 平面型等离子体诊断仪,威化型等离子体诊断仪被埋藏,静电卡盘在平面型等离子体诊断仪中被埋藏
机译: 使用多个微尖端发射阴极的自旋极化电子源,用于电子物质或电子粒子相互作用物理学,等离子物理学,电子显微镜