首页> 外国专利> lid for sealing a thermostatic arrangement serving housing for the safe and controlled evaporation of the air toxic or highly reactive liquid reaktionsmedien, preferably for niederdruckdampfabscheideanlagen in semiconductor technology

lid for sealing a thermostatic arrangement serving housing for the safe and controlled evaporation of the air toxic or highly reactive liquid reaktionsmedien, preferably for niederdruckdampfabscheideanlagen in semiconductor technology

机译:用于密封恒温装置的盖子,用于保护外壳,以安全,受控地蒸发有毒或高反应性的液体,尤其是半导体技术中的niederdruckdampfabscheideanlagen

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE8801787U1

    专利类型

  • 公开/公告日1988-06-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SIEMENS AG 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN DE;

    申请/专利号DE19880001787U

  • 发明设计人

    申请日1988-02-11

  • 分类号C23C16/44;H01L21/365;H01L21/205;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 06:51:33

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