机译:用于密封恒温装置的盖子,用于保护外壳,以安全,受控地蒸发有毒或高反应性的液体,尤其是半导体技术中的niederdruckdampfabscheideanlagen
公开/公告号DE8801787U1
专利类型
公开/公告日1988-06-01
原文格式PDF
申请/专利号DE19880001787U
发明设计人
申请日1988-02-11
分类号C23C16/44;H01L21/365;H01L21/205;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:51:33