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机译:漂移补偿电流测量装置
公开/公告号GB2202338A
专利类型
公开/公告日1988-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 * HEIDELBERGER DRUCKMASCHINEN AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号GB19880005725
发明设计人 BERTOLD * GRUTZMACHER;HELMUT * MEYER;
申请日1988-03-10
分类号G01R15/02;G01R19/00;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 06:50:25
机译: 补偿由均匀性补偿器漂移ETC引起的均匀性漂移的光刻设备。通过包括均匀性校正系统,设备的制造方法和均匀性校正系统
机译: 发射端调制器的偏置漂移估计装置,补偿装置和接收器
机译: 传输端调制器偏置补偿的估计装置,补偿装置和接收器