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机译:薄膜厚度和折射率的测定装置
公开/公告号SU1486777A2
专利类型
公开/公告日1989-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SMIRNOV IGOR KSU;
申请/专利号SU19874302119
发明设计人 SMIRNOV IGOR KSU;
申请日1987-08-26
分类号G01B11/06;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 06:32:30
机译: 测量叠层结构的层成分的厚度和折射率的方法以及用于执行该方法的测量设备
机译: 测量层压结构的组成层的厚度和折射率的方法及其实施装置