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Uehaaseizohohooyobisonosochi

机译:以上是朝荣的脸颊及其对策

摘要

The wafering system employs a chuck assembly for moving a severed wafer from a crystal through the aperture in the cutting blade to a take- off conveyor. The chuck assembly includes a suction head which is pivotally mounted via a pivot arm assembly, a slide for moving the head back and forth and a carriage for vertically moving the head up and down. A motor is used to actuate the carriage while air cylinders are used to actuate the slide and pivot arm assembly.
机译:晶片系统采用了一个卡盘组件,用于将切割后的晶片从晶体中通过切割刀片上的孔移动到取出传送带。卡盘组件包括通过枢转臂组件可枢转地安装的吸头,用于前后移动吸头的滑动件以及用于上下竖直移动吸头的托架。电动机用于致动托架,而气缸用于致动滑动和枢转臂组件。

著录项

  • 公开/公告号JPH0247324B2

    专利类型

  • 公开/公告日1990-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SILICON TECHNOLOGY;

    申请/专利号JP19820198318

  • 发明设计人 ROBAATO II SUTEIA JUNIA;

    申请日1982-11-10

  • 分类号B28D1/22;B23Q7/04;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;H01L21/683;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 06:21:51

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