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Positive photoresist with a solvent mixture of propylene glycol alkyl ether and propylene glycol alkyl ether acetate

机译:带有丙二醇烷基醚和丙二醇烷基醚乙酸酯的溶剂混合物的正性光刻胶

摘要

The invention provides a positive working photosensitive element with improved odor and increased photospeed which comprises coating a formulation containing at least one novolak or polyvinyl phenol resin, at least one o-quinone diazide and a solvent mixture comprising propylene glycol alkyl ether and propylene glycol alkyl ether acetate, onto a substrate, drying, exposing to imaging energy and developing.
机译:本发明提供了具有改善的气味和提高的光速的正性工作光敏元件,其包括涂布包含至少一种线型酚醛清漆或聚乙烯酚树脂,至少一种邻醌二叠氮化物和包含丙二醇烷基醚和丙二醇烷基醚的溶剂混合物的制剂。醋酸盐在基材上干燥,暴露于成像能量并显影。

著录项

  • 公开/公告号US4948697A

    专利类型

  • 公开/公告日1990-08-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HOECHST CELANESE CORPORATION;

    申请/专利号US19890376147

  • 发明设计人 DANA DURHAM;

    申请日1989-07-05

  • 分类号G03C1/60;G03C1/76;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 06:07:07

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