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机译:用于热处理二重体的装置,例如二氧化硅晶片。
公开/公告号AT61421T
专利类型
公开/公告日1991-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 BERTIN & CIE SOCIETE ANONYME;
申请/专利号AT19870901501T
发明设计人 JANNOTMARCEL AUGUSTIN JOSEPH;PATUREAU JEAN-PIERRE;
申请日1987-02-18
分类号C23C16/48;C21D1/34;C30B33/00;F27B17/00;H01L21/00;H05B3/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 05:56:33
机译: 用于热处理二重体的装置,例如二氧化硅晶片。
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