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机译:一种固定光学移相板的方法。
公开/公告号GB2232271A
专利类型
公开/公告日1990-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 * SHARP KABUSHIKI KAISHA;
申请/专利号GB19900013070
发明设计人 MOTOTAKA * TANEYA;SADAYOSHI * MATSUI;MITSUHIRO * MATSUMOTO;
申请日1990-06-12
分类号G02B5/18;G02B6/42;H01S5/022;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 05:48:05
机译: 一种固定光学移相板的方法
机译: 半色调移相光掩模及其空白用于半色调移相光掩模以及使用半色调移相光掩模形成图案的方法