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FIELD ION MICROSCOPE AND SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

机译:场离子显微镜和扫描隧道显微镜

摘要

PURPOSE:To obtain a field ion microscope capable of reducing the applied quantity of image focusing gas, and a field ion microscope combined type scanning tunneling microscope capable of performing rapid regression into ultra-high vacuum. CONSTITUTION:A gas nozzle 109 for supplying image focusing gas only to the tip part of a sample chip disposed in a vacuum drum 103 is disposed facing the tip part of the sample chip 101. Inside the vacuum drum, there are also provided a scanning tunneling microscope body, an arm for holding the sample, an arm drive unit, a device for driving the screen of an electrolytic ion microscope, a gas nozzle for supplying image focusing gas from an image focusing gas supply device only to the tip part of a probe chip, and an exhaust device for obtaining ultra-high vacuum.
机译:目的:获得一种能够减少图像聚焦气体施加量的场离子显微镜,以及一种能够快速回归至超高真空的场离子显微镜组合式扫描隧道显微镜。组成:一个气体喷嘴109,用于仅向放置在真空鼓103中的样品芯片的尖端部分提供图像聚焦气体,它面对着样品芯片101的尖端部分。在真空鼓内部,还提供了一个扫描隧道。显微镜主体,用于保持样本的臂,臂驱动单元,用于驱动电解离子显微镜的屏幕的装置,用于将图像聚焦气体从图像聚焦气体供应装置仅供应到探针的尖端部分的气体喷嘴芯片,以及用于获得超高真空的排气装置。

著录项

  • 公开/公告号JPH04215007A

    专利类型

  • 公开/公告日1992-08-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;

    申请/专利号JP19900401719

  • 发明设计人 YOKOZUKA TATSUO;TANAKA HIDEYUKI;

    申请日1990-12-12

  • 分类号G01B7/34;G01Q30/02;G01Q30/12;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q80/00;H01J37/28;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 05:42:10

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