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机译:三元素干涉仪式测长仪
公开/公告号JPH0452402B2
专利类型
公开/公告日1992-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ZEISS STIFTUNG;
申请/专利号JP19830001246
发明设计人 EERITSUHI HAINATSUHAA;RAINHARUTO RUUDEUIHI;
申请日1983-01-10
分类号G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 05:39:10
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