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机译:费森绿色/费曼绿色操作的干涉仪校准方法
公开/公告号DD298193A7
专利类型
公开/公告日1992-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 JENOPTIK JENA GMBH DE;
申请/专利号DD19850285440
发明设计人 BODE ANDREAS DE;HOLOTA KARIN DE;BRENDEL INGRID DE;
申请日1985-12-24
分类号G01B9/02;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 05:36:07
机译: 使用带Fizeau和Twyman-Green臂的干涉仪,通过干涉仪测量光学元件中的热诱导表面缺陷,将其信号叠加以形成测量信号
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