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A method of manufacturing free standing perovskite lead scandium tantalate film

机译：一种自立钙钛矿铅酸钽scan薄膜的制造方法

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摘要

A method of manufacturing a free standing perovskite lead scandium tanatalate film is described. A film of lead scandium tantalate is formed on a layer of MgO deposited on a sapphire substrate. The MgO layer is etched by phosphoric acid thereby releasing the lead scandium tantalate film from the substrate.

机译：描述了一种制造自立式钙钛矿他他那酸铅film膜的方法。在沉积在蓝宝石衬底上的MgO层上形成钽酸铅scan膜。通过磷酸蚀刻MgO层，从而从基板释放钽酸铅scan膜。

著录项

公开/公告号EP0487213A1

专利类型
公开/公告日1992-05-27

原文格式PDF
申请/专利权人 GEC-MARCONI LIMITED;
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申请/专利号EP19910309869
发明设计人 WHATMORE ROGER WILLIAM;PATEL ANIL;
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申请日1991-10-25
分类号C04B35/00;H01B3/12;C01G35/00;C23C16/40;C23C16/56;C23C14/08;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 05:29:19

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