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Device for radio frequency powered glow discharge spectrometry with external sample mount geometry

机译:具有外部样品架几何形状的射频辉光放电光谱仪

摘要

A method and apparatus for analyzing solid sample materials mounted externally to the apparatus is provided wherein a low pressure glow discharge is initiated by applying a radio frequency potential to an integral, continuous solid sample and an electrically grounded anode in the presence of an inert gas, the glow discharge being maintained such that the inert gas is ionized and the ionized gas sputters sample material, the sputtered sample material then passing into an analyzer region for analysis.
机译:提供了一种用于分析安装在该装置外部的固体样品材料的方法和装置,其中通过在惰性气体存在下将射频电势施加到一个完整的,连续的固体样品和一个接地的阳极上来启动低压辉光放电,保持辉光放电,以使惰性气体被离子化,并且离子化的气体溅射样品材料,然后溅射的样品材料进入分析仪区域进行分析。

著录项

  • 公开/公告号US5086226A

    专利类型

  • 公开/公告日1992-02-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CLEMSON UNIVERSITY;

    申请/专利号US19900591544

  • 发明设计人 R. KENNETH MARCUS;

    申请日1990-10-01

  • 分类号H01J49/04;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 05:23:22

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