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Method for improving adhesion of a resist layer to a metallic layer and electrolessly plating a wiring pattern thereon

机译:改善抗蚀剂层对金属层的粘附力并在其上化学镀敷布线图案的方法

摘要

In conducting wiring by masking the portion other than the portion to be wired of a metallic laminate with a photoresist for plating and subjecting only the portion to be wired to pattern plating, the provision of a noble metal layer made of gold, platinum or the like, or a metallic layer made of a metal having a larger ionization tendency than that of a metal used in the pattern plating on the metallic layer constituting the undercoat of the photoresist for plating enables the peeling of the resist for plating to be prevented and excellent fine wiring to be conducted.
机译:在通过用电镀用光致抗蚀剂掩蔽金属层压板的除要布线的部分以外的部分并仅对要布线的部分进行图案电镀来进行布线的过程中,提供由金,铂等制成的贵金属层或者,在构成电镀用光致抗蚀剂的底涂层的金属层上,由离子化趋势比在图案电镀中使用的金属的离子化趋势大的金属制成的金属层,能够防止电镀用抗蚀剂的剥离,并且具有优异的微细性。进行布线。

著录项

  • 公开/公告号US5139923A

    专利类型

  • 公开/公告日1992-08-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HITACHI LTD.;

    申请/专利号US19910634966

  • 申请日1991-01-03

  • 分类号G03C5/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 05:22:25

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