公开/公告号DE4127701A1
专利类型
公开/公告日1993-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 8000 MUENCHEN DE;
申请/专利号DE19914127701
发明设计人 SEEBOECK ROBERT DIPL.-PHYS. DR. 8526 BUBENREUTH DE;BIRCKIGT RUDOLF 8524 NEUNKIRCHEN DE;ROEMHELD MICHAEL DIPL.-PHYS. DR. 8525 UTTENREUTH DE;
申请日1991-08-21
分类号H01L39/24;G01N21/59;G01B11/06;H01L21/306;C04B35/00;C04B41/91;H01L21/268;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 05:01:36