公开/公告号AT112651T
专利类型
公开/公告日1994-10-15
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申请/专利权人 ASM INTERNATIONAL N.V.;
申请/专利号AT19900904449T
发明设计人 SLUIJK BOUDEWIJN GIJSBERT;PIEKAAR HANS WILLEM;CORSIUS HUBERTUS ARNOLDUS;GRANNEMAN ERNST HENDRIK AUGUST;
申请日1990-03-06
分类号H01L21/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 04:43:27