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机译:带电粒子脉冲光束横截面电流密度分布的非破坏性测量装置
公开/公告号SU1021264A1
专利类型
公开/公告日1994-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT JADERNOJ FIZIKI PRI ТOMSKOM POLITEKHNICHESKOM INSTITUTE;
申请/专利号SU19813373058
发明设计人 ТOLOPA А.М.;REMNEV G.Е.;LOGACHEV Е.I.;
申请日1981-12-28
分类号G01T1/29;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 04:36:54
机译: 控制带电带电粒子束电流密度分布不均匀的装置
机译: 带电粒子束电流密度分布的测量仪器
机译: 在带电粒子束微光刻系统中检测带电粒子束的带电粒子密度分布的方法和装置