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The doors between two movable containers, in particular two containers ultra-clean.

机译:两个活动容器之间的门,特别是两个容器之间的门是超净的。

摘要

The invention makes it possible to transfer of a container in the other an object without the latter being in contact with the atmosphere prevailing around the containers. & br / the system comprises two gates (12, 22) connected to one another in a sealed manner, so that the outer faces (13, 23) of these doors are placed and remain opposite one another during the opening, for example by winding those - latter around a drum (21). These doors are formed of two flexible curtain sliding in the lateral supports. & br / application to the manufacture of the wafers of semiconductor - conductors in an ultra-clean atmosphere.
机译:本发明使得可以将容器转移到另一个物体中,而该物体不与容器周围盛行的大气接触。 &该系统包括以密封方式彼此连接的两个门(12、22),因此这些门的外表面(13、23)被放置并在打开期间彼此相对,例如通过缠绕那些-后者绕着鼓(21)。这些门由在侧向支撑件中滑动的两个柔性窗帘组成。 & br>在超清洁气氛中应用于制造半导体晶片-导体。

著录项

  • 公开/公告号FR2666792B1

    专利类型

  • 公开/公告日1994-05-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE;

    申请/专利号FR19900011450

  • 发明设计人 CRUZ DIDIER;DOCHE CLAUDE;

    申请日1990-09-17

  • 分类号B65D81/18;B65D90/08;B65D90/54;B65G49/07;E06B9/56;H01L21/00;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-22 04:33:56

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