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机译:用于快速测量小表面积的原型扫描测针轮廓仪
公开/公告号GB9405419D0
专利类型
公开/公告日1994-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 RANK TAYLOR HOBSON LTD;
申请/专利号GB19940005419
发明设计人
申请日1994-03-18
分类号G01B5/28;G01B7/34;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 04:32:58
机译: 进行了用于表面形状测量的表面形状的性能改善方法和测针轮廓仪的测量方法
机译: 测针轮廓仪的表面形状测量及其自动校准方法
机译: 用于表面形状测量的触笔式阶梯轮廓仪的测量精度改进方法以及用于该方法的用于表面形状测量的触笔式阶梯轮廓仪的测量精度的改进方法