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A technique for increased yield and reproducibili ty of micro machined features for aerosol studies

机译：用于气溶胶研究的微加工特征的提高产量和再现性的技术

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公开/公告号GB9406608D0

专利类型
公开/公告日1994-05-25

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申请/专利权人 PATTEN ROBERT;HARLEY PHILLIP E;
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申请/专利号GB19940006608
发明设计人
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申请日1994-04-05
分类号
国家 GB
入库时间 2022-08-22 04:32:54

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