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机译:薄膜沉积的方法。
公开/公告号AT120439T
专利类型
公开/公告日1995-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SAINT GOBAIN VITRAGE INTERNATIONAL;
申请/专利号AT19900402153T
发明设计人 ROUSSEAU JEAN-PAUL;BALIAN PIERRE;
申请日1990-07-26
分类号C03C17/38;C23C16/50;
国家 AT
入库时间 2022-08-22 04:17:14
机译: 薄膜沉积的方法。
机译: 一种沉积薄膜的方法。
机译: 用于薄膜沉积的组合物,薄膜的制造方法用组合物用于薄膜沉积,由薄膜沉积组合物和半导体元件制成的薄膜,包括薄膜