公开/公告号DE69026566D1
专利类型
公开/公告日1996-05-23
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON K.K. TOKIO/TOKYO JP;
申请/专利号DE19906026566T
发明设计人 SHINDO HITOSHI C/O CANON KABUSHIKI KAISHA OHTA-KU TOKYO JP;ICHIKAWA TAKESHI C/O CANON KABUSHIKI KAISHA OHTA-KU TOKYO JP;IKEDA OSAMU C/O CANON KABUSHIKI KAISHA OHTA-KU TOKYO JP;OHMI KAZUAKI C/O CANON KABUSHIKI KAISHA OHTA-KU TOKYO JP;MATSUMOTO SHIGEYUKI C/O CANON KABUSHIKI KAISHA OHTA-KU TOKYO JP;
申请日1990-09-25
分类号H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 03:41:37