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机译:从气体源向设备供应反应性气体的系统。
公开/公告号DE69113929T2
专利类型
公开/公告日1996-04-11
原文格式PDF
申请/专利权人 AIR PROD & CHEM US;
申请/专利号DE1991613929T
发明设计人 GEORGE MARK ALLEN US;
申请日1991-08-19
分类号C23C16/44;C23C16/14;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 03:41:33
机译: 用于将反应气体从气罐供应到设备的系统。
机译: 从供应源向工具输送反应性气体的系统