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Device for observing test-piece surfaces by the speckle-shearing- method for the measurement of deformations

机译:用斑点剪切法观察试件表面以测量变形的装置

摘要

Subject of the invention is a shearing measurement head, which has a very compact structure by the use of concave mirrors in a Michelson interferometer arrangement, allows phase-shifting and can be operated optionally using an attached objective.
机译:发明内容本发明的主题是剪切测量头,其通过在迈克尔逊干涉仪布置中使用凹面镜而具有非常紧凑的结构,允许相移并且可以可选地使用附接的物镜来操作。

著录项

  • 公开/公告号US5493398A

    专利类型

  • 公开/公告日1996-02-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PFISTER;KLAUS;

    申请/专利号US19940290869

  • 发明设计人 KLAUS PFISTER;

    申请日1994-08-29

  • 分类号G01B9/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 03:38:59

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