公开/公告号US5539100A
专利类型
公开/公告日1996-07-23
原文格式PDF
申请/专利号US19930084093
发明设计人 MICHAEL R. WASIELEWSKI;MARK P. NIEMCZYK;DAVID J. GOSZTOLA;DOUGLAS G. JOHNSON;MICHAEL P. ONEIL;GEORGE L. GAINES;
申请日1993-07-01
分类号C07D487/22;H01L31/04;
国家 US
入库时间 2022-08-22 03:38:15