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On-line management of wafer automatic tester

机译:晶圆自动测试仪的在线管理

摘要

The present invention detects all the information of the wafer production status on-line by automatically detecting the down-track of the equipment in the wafer production line, thereby detecting problems in the production environment early, and thereby improving the productivity and the product yield The present invention relates to a method for on-line management of an automatic tester in a wafer production line, which uses a user OIC program of a test program to check and record the status of a prober before execution of a test, And a second step of automatically installing the test program in the command file after the first step and recording the equipment status in the guide file and transmitting the test result to the host, and calling and executing the test main program and the user OIC program.
机译:本发明通过自动检测晶片生产线中的设备的下轨,在线检测晶片生产状态的所有信息,从而及早发现生产环境中的问题,从而提高生产率和产品良率。晶片生产线上的自动测试仪的在线管理方法技术领域本发明涉及一种晶片生产线上的自动测试仪的在线管理方法,其使用测试程序的用户OIC程序在执行测试之前检查并记录探测器的状态,以及第二步骤。第一步之后,将测试程序自动安装在命令文件中,并将设备状态记录在指南文件中,然后将测试结果发送到主机,然后调用并执行测试主程序和用户OIC程序。

著录项

  • 公开/公告号KR970029158A

    专利类型

  • 公开/公告日1997-06-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 김광호;

    申请/专利号KR19950039743

  • 发明设计人 김창수;송기섭;윤종칠;

    申请日1995-11-04

  • 分类号G06F19/00;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 03:17:32

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