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Method of producing a microporous, gas permeable electrode structure and a microporous, gas permeable electrode structure

机译:制备微孔透气电极结构的方法和微孔透气电极结构

摘要

The invention relates to a method of producing a microporous, gas permeable electrode structure, and to a corresponding electrode structure. According to the method, on a substrate (2) by means of a vacuum evaporation process is formed a first microporous electrode layer (4) using an angle (&agr;) between the substrate (2) and the evaporation source (1) smaller than 90°. According to the invention, on the first microporous layer (4) is formed another microporous layer (5) of a precious metal using essentially the same evaporation angle (&agr;) as in the fabrication step of the first microporous layer (4).
机译:本发明涉及一种生产微孔的,可透气的电极结构的方法,并涉及一种相应的电极结构。根据该方法,利用真空蒸镀工艺在基板(2)上形成第一微孔电极层(4),第一微孔电极层(4)使用小于基板(2)和蒸发源(1)之间的角度(α)。 90°。根据本发明,在第一微孔层(4)上使用与第一微孔层(4)的制造步骤基本相同的蒸发角(α)形成另一种贵金属微孔层(5)。

著录项

  • 公开/公告号US5607564A

    专利类型

  • 公开/公告日1997-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 VAISALA OY;

    申请/专利号US19950371128

  • 发明设计人 LARS STORMBOM;

    申请日1995-01-11

  • 分类号G01N27/26;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 03:10:29

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