公开/公告号WO9748117A1
专利类型
公开/公告日1997-12-18
原文格式PDF
申请/专利号WO1997IB00615
发明设计人 VAN DEN BOGERT MARCEL JACOB;TEEUWEN GERARD HARRY LEON;HENRIËTTE PEDRO FRANCISCO;VISSER-BARTELDS JANTJE;
申请日1997-05-29
分类号H01J9/227;G03F7/12;H01J29/30;
国家 WO
入库时间 2022-08-22 02:52:18