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MUTI-SUBSTRATE TRANSFRRING APPARATUS

机译:MU TI-substrate trans fr ring apparatus

摘要

The multiplex substrate delivering apparatus is comprised of a rotator(13) performing a rotational motion which is formed in the center of the apparatus, a supporting plate having a guide means(12) guiding movement direction for the substrate delivery on the surface of the apparatus, one side end of the apparatus being fixed in the rotator(13), the substrate being placed on the other side end of it, and a plurality of substrate deliver arms comprising a guide holding means(5) which is combined with the guide means(12) to deliver the substrate.
机译:该多路基板输送装置由在装置的中央形成的进行旋转运动的旋转器(13),在该装置的表面上具有对基板的输送方向进行引导的引导机构(12)的支承板构成。装置的一侧固定在旋转器(13)中,基板放置在其另一侧,多个基板传送臂包括与导向装置结合的导向保持装置(5)。 (12)输送基材。

著录项

  • 公开/公告号KR0129582B1

    专利类型

  • 公开/公告日1998-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.LTD;

    申请/专利号KR19940014496

  • 发明设计人 CHO KYUNG-SOO;

    申请日1994-06-23

  • 分类号H01L21/68;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 02:47:36

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