公开/公告号DE69314522D1
专利类型
公开/公告日1997-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD. TOKIO/TOKYO JP;
申请/专利号DE19936014522T
发明设计人 AIHARA KATSUZO HITACHIOOTA-SHI IBARAKI 313 JP;MATSUDA SHINPEI SUNINAMI-KU TOKYO 166 JP;KAMO TOMOICHI NAKA-GUN IBARAKI 319-11 JP;
申请日1993-03-10
分类号H01L39/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 02:42:43