公开/公告号DE19753790A1
专利类型
公开/公告日1999-06-17
原文格式PDF
申请/专利号DE1997153790
发明设计人 WOLF BERNHARD PROF.DR.RER.NAT. 79252 STEGEN DE;EHRET RALF 79291 MERDINGEN DE;BAUMANN WERNER 79110 FREIBURG DE;LEHMANN MIRKO 79117 FREIBURG DE;GAHLE HANS-JUERGEN DR.-ING. 79312 EMMENDINGEN DE;IGEL GUENTER DIPL.-ING. 79331 TENINGEN DE;
申请日1997-12-04
分类号G01N33/00;G01N27/327;G01N33/483;G06T7/00;H01L21/66;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 02:13:02