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机译:用于对衬底表面进行处理浴电镀技术的分析监控的方法和设备
公开/公告号FR2765894B1
专利类型
公开/公告日2000-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH;
申请/专利号FR19980008971
发明设计人 PEJOVNIK STANE;BELE MARJAN;MEYER HEINRICH;BESENHARD JURGEN OTTO;
申请日1998-07-08
分类号C25D21/12;C25D5/54;G01N31/16;G01R19/00;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 01:39:59
机译: 用于对基板表面进行电镀处理的镀液进行分析监控的方法和设备
机译: 基质表面电镀技术处理池的分析监测方法和装置