公开/公告号DE19945425A1
专利类型
公开/公告日2001-04-19
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申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
申请/专利号DE1999145425
发明设计人 BAUCH LOTHAR;MOLL PETER;VOGT MIRKO;LUEKEN ELKE;KIESLICH ALBRECHT;LEHR MATTHIAS UWE;LEIBERG WOLFGANG;
申请日1999-09-22
分类号H01L21/321;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 01:10:16