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Surface treatment and method for applying surface treatment to suppress secondary electron emission

机译:表面处理和进行表面处理以抑制二次电子发射的方法

摘要

A surface treatment and method for applying the surface treatment to electrical components are provided that include a coating of yttrium-iron-garnet (YIG), which is applied to the inner surface of the component by sputtering.
机译:提供了一种表面处理和将表面处理施加到电气部件的方法,该方法包括通过钇铁石榴石(YIG)涂层形成的涂层,该涂层通过溅射施加到部件的内表面。

著录项

  • 公开/公告号US06179976B2

    专利类型

  • 公开/公告日2001-01-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号US09453653

  • 申请日1999-12-03

  • 分类号C23C143/40;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 01:07:31

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