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机译:计量学的声学计量工具和方法
公开/公告号GB0102922D0
专利类型
公开/公告日2001-03-21
原文格式PDF
申请/专利权人 STOLT OFFSHORE S A;
申请/专利号GB20010002922
发明设计人
申请日2001-02-06
分类号G01S5/18;G01S15/87;G01S15/88;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 01:06:28
机译: 计量工具和使用计量工具的方法
机译: 检测晶片腔中等离子体的计量方法以及该计量在站对站和工具对工具匹配中的应用
机译: 晶圆腔中等离子体检测的计量方法以及台对站和工具对工具匹配的度量方法