公开/公告号US6189484B1
专利类型
公开/公告日2001-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US19990263642
发明设计人 CHII GUANG LEE;HONGCHING SHAN;PETER K. LOEWENHARDT;DIANA XIAOBING MA;GERALD ZHEYAO YIN;ARNOLD KHOLODENKO;DAN KATZ;
申请日1999-03-05
分类号C23C160/00;H05H10/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 01:05:10