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Work table e.g. for ultra-high vacuum device, has table plate provided as film material covering separating drive from working environment

机译:工作台例如用于超高真空设备,具有作为薄膜材料的工作台,覆盖驱动器与工作环境的隔离

摘要

The work table (1) has a table plate (4) provided as a film material covering (5) delimiting a table space (6) enclosing a drive device (7), used for contactless displacement of a working device (3) on the opposite side of the table plate.
机译:工作台(1)具有设置为薄膜覆盖物(5)的工作台板(4),该工作台板界定了包围驱动装置(7)的工作台空间(6),用于将工作装置(3)无接触地移动到工作台上。桌子板的另一侧。

著录项

  • 公开/公告号DE10054045A1

    专利类型

  • 公开/公告日2002-05-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASYS GMBH & CO.KG;

    申请/专利号DE2000154045

  • 发明设计人 HUEGLER KLAUS;

    申请日2000-10-31

  • 分类号B23Q3/00;B65G49/07;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 00:27:19

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