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Method of dicing a complex topologically structured wafer

机译:切割复杂的拓扑结构晶片的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号GB0127688D0

    专利类型

  • 公开/公告日2002-01-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DENSELIGHT SEMICONDUCTORS PTE LTD;

    申请/专利号GB20010027688

  • 发明设计人

    申请日2001-11-19

  • 分类号H01L21/302;H01L21/304;H01L21/762;H01L21/78;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-22 00:24:03

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