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COMPENSATING FOR EFFECTS OF VARIATIONS IN GAS REFRACTIVITY IN INTERFEROMETERS

机译：补偿干涉仪中气体反射率变化的影响

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摘要

Methods and system for compensating for effects of changes and variations of gas refractivity in a measurment and/or reference beam path of an interferometer are disclosed.

机译：公开了用于补偿干涉仪的测量和/或参考光束路径中的气体折射率的改变和变化的影响的方法和系统。

著录项

公开/公告号AU2002352733A1

专利类型
公开/公告日2003-06-10

原文格式PDF
申请/专利权人 ZYGO CORPORATION;
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申请/专利号AU20020352733
发明设计人 HENRY A. HILL;
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申请日2002-11-15
分类号G03B27/58;G03B27/32;
国家 AU
入库时间 2022-08-21 23:57:31

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