公开/公告号EP0966657B1
专利类型
公开/公告日2003-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V.;DAIMLER BENZ AEROSPACE JENA-OPTRONIK GMBH;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH;ENTEC GMBH;
申请/专利号EP19980910734
申请日1998-03-06
分类号G01J3/28;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 23:53:13