公开/公告号DE59806819D1
专利类型
公开/公告日2003-02-06
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUT FUER PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V.;JENA-OPTRONIK GMBH;INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH;ENTEC GMBH;
申请/专利号DE19985006819T
申请日1998-03-06
分类号G01J3/28;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 23:40:20