公开/公告号DE50002093D1
专利类型
公开/公告日2003-06-12
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;
申请/专利号DE20005002093T
申请日2000-06-28
分类号C23C14/54;G01B11/06;H01J37/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 23:40:28