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机译:平面不平衡磁控溅射阴极及其涂层系统
公开/公告号GB2342361B
专利类型
公开/公告日2003-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 * BEIJING ZHENTAO INTL TI-GOLD TECHNOLOGY CO. LTD;
申请/专利号GB19990003261
发明设计人 YUDIAN * FAN;
申请日1999-02-12
分类号H01J37/34;C23C14/35;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 23:36:46
机译: 用于磁控溅射离子至不平衡平面的阴极及其涂层系统
机译: 平面不平衡磁控溅射阴极及其涂层系统
机译: 平面不平衡磁控溅射阴极